特許
J-GLOBAL ID：200903028667787081

積層体の研磨量検出素子、ウエファー、および積層体の研磨方法

発明者：
袋井 修

袋井 修 について


出願人/特許権者：
新科實業有限公司

新科實業有限公司 について


代理人 (3件)： 宮崎 昭夫 ,  石橋 政幸 ,  緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-162211
公開番号（公開出願番号）：特開2007-334934
出願日： 2006年06月12日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：
【課題】磁界検出センサ用の研磨量検出素子において、パッドの設置面積を減らす。【解決手段】研磨量検出素子31は、基板5と磁界検出センサ10とを含む積層体の研磨量検出素子である。研磨量検出素子31は、積層体の研磨面Gに磁界検出センサ10とともに露出して設けられ、研磨量に応じて抵抗値が変化する抵抗膜32と、抵抗膜32の一端に電気的に接続され、積層体の研磨面Gとは異なる面に形成された、抵抗値を測定するためのパッド33と、を有している。抵抗膜32の他端は基板5に電気的に接続されている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板と磁界検出センサとを含む積層体の研磨量検出素子であって、 前記積層体の研磨面に前記磁界検出センサとともに露出して設けられ、研磨量に応じて抵抗値が変化する抵抗膜と、 前記抵抗膜の一端に電気的に接続され、前記積層体の前記研磨面とは異なる面に形成された、前記抵抗値を測定するためのパッドと、 を有し、 前記抵抗膜の他端は前記基板に電気的に接続されている、 研磨量検出素子。
IPC (4件)：
G11B 5/39 ,  B24B 37/04 ,  B24B 49/10 ,  G11B 5/31
FI (5件)：
G11B5/39 ,  B24B37/04 K ,  B24B49/10 ,  G11B5/31 N ,  G11B5/31 K
Fターム (16件)：
3C034AA13 ,  3C034BB92 ,  3C034CA01 ,  3C034DD01 ,  3C058AA07 ,  3C058BA01 ,  3C058BA07 ,  3C058CB01 ,  3C058DA16 ,  5D033BA39 ,  5D033BB43 ,  5D033DA12 ,  5D033DA31 ,  5D034BA08 ,  5D034BB12 ,  5D034DA02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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