特許
J-GLOBAL ID：200903028668038503
真空成膜装置、ならびにそれを用いて成膜した積層体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-124515
公開番号（公開出願番号）：特開2008-280569
出願日： 2007年05月09日
公開日（公表日）： 2008年11月20日
要約：
【課題】基板、基材に対し、安定して長時間、かつ高速での真空成膜が可能であるロール・ツー・ロール型装置を提供すること。【解決手段】メインチャンバー11において成膜を行っている最中、第1ローラーユニット1402が上昇し、第1フィルム長さ調整機構14の第1サブチャンバー10内にウェブ23が溜め込まれた状態となる。繰り出しローラー1にセットした原反のエンドに達すると同時に第1ロードロックローラー2を閉め、繰り出しローラー1と第1ロードロックローラー2の間でウェブ23は静止した状態となりゼロスピードの状態となる。これと同時にダンサーローラーヘッド28はウェブ23の搬送速度に合わせて、第1サブチャンバー10の下部に下りて行き、第1サブチャンバー10内に溜められたウェブ23は、メインチャンバー11へ搬送され、成膜が続行されている状態が出来る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ロール・ツー・ロール型の真空成膜装置であって、
フィルムが巻回された巻き出し原反がセットされるフィルム繰り出しチャンバーと、
前記巻き出し原反から巻き出されたフィルムへの成膜を行う成膜チャンバーと、
前記フィルム繰り出しチャンバーと前記成膜チャンバーとの連通部に設けられた第1ロードロックローラーと、
前記成膜チャンバーの成膜箇所と前記第1ロードロックローラーとの間の箇所に設けられ、前記フィルムが掛け渡される複数のローラーからなる第1、第2ローラーユニットが相対的に移動することで当該箇所に延在するフィルムの長さが調整される第1フィルム長さ調整機構と、
を備えることを特徴としたロール・ツー・ロール型真空成膜装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA46
, 4K029BA48
, 4K029BB02
, 4K029BC07
, 4K029CA06
, 4K029DC16
, 4K029DC39
, 4K029FA05
, 4K029FA07
, 4K029KA07
, 4K029KA09
