特許

J-GLOBAL ID：200903028785029515

オゾンガス濃度測定方法

発明者： 小池 国彦 ,  井上 吾一 ,  中村 貞紀
出願人/特許権者： 岩谷産業株式会社
代理人 (1件)： 北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-062781
公開番号（公開出願番号）：特開2003-262627
出願日： 2002年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：

【要約】【課題】 供給されるオゾンガス源に貯留されているオゾンガスの濃度を測定する方法を提供する。【解決手段】 オゾンガス源に貯留されているオゾンガスを分解容器(4)内に封入する。封入されたオゾンガスに分解容器(4)内で火花等の着火エネルギーを作用させて封入オゾンガスを強制分解させることで、封入されているオゾンガスの全量を酸素に分解させる。分解後の上昇圧力と上昇温度から封入オゾンガスの濃度を検知する。

請求項（抜粋）：

オゾンガス源からオゾンガスを分解容器(4)に封入し、分解容器(4)内に封入されているオゾンガスに着火エネルギーを作用させてオゾンガスを強制分解させることによりオゾンガスの全量を酸素に分解させ、分解後の分解容器(4)内の上昇圧力と上昇温度から封入オゾンガスの濃度を検知するようにしたオゾンガス濃度測定方法。

IPC (2件)：

G01N 31/00 ,  G01N 31/12

FI (2件)：

G01N 31/00 L ,  G01N 31/12 B

Fターム (7件)：

2G042AA01 ,  2G042BB10 ,  2G042CA10 ,  2G042CB01 ,  2G042DA05 ,  2G042HA02 ,  2G042HA07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• オゾンガスの濃度測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-004394   出願人：岩谷産業株式会社
• オゾン化気体のオゾン濃度測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-041014   出願人：松田昌典
• オゾン発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-028389   出願人：富士電機株式会社

引用文献：

審査官引用 (11件)

• 日本オゾン協会年次研究講演会講演集, 2000, Vol.9th, page.171-174
• 日本オゾン協会年次研究講演会講演集, 2001, Vol.11th, Page.78-81
• 日本オゾン協会年次研究講演会講演集, 1999, Vol.8th, Page.25-28
• J Chem Eng Jpn, 1999, Vol.32, No.3, Page.295-299
• 産業安全研究所研究報告, 2001, No.2000, Page.25-33
• Anal Chem, 1980, Vol.52, No.7, Page.1123-1125
• 真空, 2001, Vol.44, No.3, Page.167-170
• Ozone Sci Eng, 1992, Vol.14, No.2, Page.91-99
• Sens Actuators B, 2001, Vol.B77, No.1/2, Page.543-547
• 電気学会放電研究会資料, 1999, Vol.ED-99, No.76-93, Page.51-56
• Semicond FPD World, 2000, Vol.19, No.5, Page.129-131