特許
J-GLOBAL ID：200903028796601431
多層膜の結晶成長のその場観察方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
長尾 常明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-271193
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097253
出願日： 1992年09月15日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 ヘテロエピタキシャル成長の観測に適用でき、また使用する光の波長の制限を受けず、更に観測時に成長素過程に影響を及ぼさないようにしたその場観察方法を実現すること。【構成】 成長結晶薄膜表面からその下層のヘテロ界面にまで進入できるエネルギーのレーザ光を入射し、上記成長結晶薄膜表面での反射光と上記ヘテロ界面での反射光の干渉光の強度(反射率)を検出する。
請求項（抜粋）：
2種類以上の物質からなる多層結晶膜の成長過程の結晶薄膜表面にプローブ光を入射させて、その反射光から成長結晶薄膜表面を観察する方法であって、上記プローブ光として上記成長結晶薄膜表面からその下層のヘテロ界面にまで進入できるエネルギーの光を使用し、上記成長結晶薄膜表面での反射光と上記ヘテロ界面での反射光の干渉光の強度を検出することを特徴とするその場観察方法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01B 11/06
, G01N 21/41
