特許

J-GLOBAL ID：200903028842980884

溝入れ加工方法及び加工装置

発明者： 酒井 和明 ,  石田 英敏 ,  柿井 俊昭
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 伊藤 穣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-223236
公開番号（公開出願番号）：特開平10-055986
出願日： 1996年08月07日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【解決手段】 ?@ 砥石ブレードを高速回転させて、シリコンウエハ等のワークに溝入れ加工を行う研削加工方法で、傾いたチャックの上面にワークをセットした状態で、ワーク上面の高さを予め測定機により計測し、そのワーク上面高さの変動を加工中にスピンドルの上下方向の動作に補正することによって、ワーク上面よりの加工溝の深さをほぼ一定に加工できる、溝入れ加工法。?A 傾斜角が30°以下。?B 測定機が加工機に対して脱着式である。【効果】 高精度な加工を実現した超精密加工技術を可能にする。

請求項（抜粋）：

砥石ブレードを高速回転させることにより、シリコンウエハ等のワークに溝入れ加工を行う研削加工方法において、水平面に対して傾いたチャックの上面にワークをセットした状態で、ワーク上面の高さを予め測定機により計測し、そのワーク上面高さの部分的な変動を加工中にスピンドルの上下方向の動作に補正することによって、ワーク全域においてワーク上面よりの加工溝の深さをほぼ一定に加工することを特徴とする、溝入れ加工方法。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ,  B24B 27/06 ,  G02B 6/00 335

FI (3件)：

H01L 21/78 F ,  B24B 27/06 J ,  G02B 6/00 335

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 溝加工方法及び溝加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-032662   出願人：日本電気株式会社
• ダイシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-003490   出願人：九州日本電気株式会社
• 切断装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-336444   出願人：望月勲
• 特開平4-290457