特許
J-GLOBAL ID：200903028876042174
気体放出特徴を備えた微細複製工具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 永坂 友康
, 西山 雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-509028
公開番号（公開出願番号）：特表2005-528255
出願日： 2003年05月01日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
一実施形態において、微細複製工具は、気体が微細複製工具の微細複製キャビティから逃げることを可能にする気体放出特徴を含む。気体放出特徴をそれぞれのキャビティの底部に配置して、微細複製プロセスの間、微細複製工具のキャビティ内の空気閉じ込めを回避することができる。このようにして、微細複製された製品の質を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
微細複製プロセスの間、微細複製された特徴を画定するキャビティで形成された微細複製表面と、
前記微細複製プロセスの間、気体が前記キャビティから逃げることを可能にするために、前記それぞれのキャビティの底部領域に隣接して配置された気体放出特徴とを含む微細複製工具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
4F202AF01
, 4F202AG05
, 4F202AJ02
, 4F202AJ10
, 4F202AM28
, 4F202CA30
, 4F202CB01
, 4F202CB29
, 4F202CD03
, 4F202CD04
, 4F202CD12
, 4F202CP02
