特許
J-GLOBAL ID：200903028876896858
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-037944
公開番号（公開出願番号）：特開平11-223950
出願日： 1998年02月05日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：
【要約】【課題】 化学増幅型レジストとして、放射線に対する透明性および解像度が優れ、かつ感度、現像性、パターン形状、ドライエッチング耐性等を含めた特性バランスにも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)酸解離性基として下記一般式(1)で表される基を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基および/または該基中のラクトン環が解離したときアルカリ可溶となる樹脂、【化1】〔一般式(1)において、R1 〜R4 は、相互に独立に水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または5〜8員環の環状アルキル基を示すか、またはR1 とR2 とが相互に結合して5〜8員環の環状アルキル基を形成し、あるいはR3 とR4 とが相互に結合して5〜8員環の環状アルキル基を形成しており、nは1〜4の整数である。〕、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)酸解離性基として下記一般式(1)で表される基を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基自体および/または該酸解離性基中のラクトン環が解離したときアルカリ可溶となる樹脂、【化1】〔一般式(1)において、R1 〜R4 は、相互に独立に水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または5〜8員環の環状アルキル基を示すか、またはR1 とR2 とが相互に結合して5〜8員環の環状アルキル基を形成し、あるいはR3 とR4 とが相互に結合して5〜8員環の環状アルキル基を形成しており、nは1〜4の整数である。〕、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/039 601
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
