特許
J-GLOBAL ID：200903028909190417
静電アクチュエータ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-342213
公開番号（公開出願番号）：特開平10-181028
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：
【要約】【課題】 静電気力によって相対変位する対向部材を備えた静電アクチュエータにおいて、対向部材間の静電吸引力の低下、対向部材同志の貼り付きが発生しないように耐久性を高めること。【解決手段】 静電アクチュエータであるインクジェッドヘッド1のインク室5の底壁(共通電極)51の表面およびセグメント電極10の表面には、HMDSからなる疎水膜53、15が形成されている。HMDSはPFDA等に比べて分子が小さく、従って、対向電極の間隔Gが狭くても均一でばらつきの無い疎水膜を形成できる。また、HMDSの疎水膜の耐久性が高く、膜安定性も高い。よって、耐久性および動作安定性の高い静電アクチュエータを実現できる。
請求項（抜粋）：
一定の間隔で対向配置され相対変位可能な対向部材と、これらの対向部材の間に静電気力を発生させて当該対向部材を相対変位させる駆動手段と、前記対向部材のうちの少なくとも一方の部材における他方の部材との対向表面に形成した疎水膜とを有する静電アクチュエータにおいて、前記疎水膜はヘキサメチルジシラザン(HMDS)から形成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (3件)：
B41J 2/135
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 N
, B41J 3/04 103 A
