ディスク原盤作成装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087601
公開番号（公開出願番号）：特開平11-288535
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】電子ビームによりディスク原盤に高精度かつ高密度のピットパターン等をカッティングする。【解決手段】ディスク原盤1を回転駆動する原盤回転機構部12と電子ビームを出射する電子ビーム出射ヘッド機構部13が、真空槽11に対していずれか一方の機構部を固定部として構成するとともに他方の機構部を回動部として構成する。例えば、原盤回転機構部12は、ディスク原盤1の載置部26を槽内に配置しかつ静圧軸受18を介して駆動部24を槽外に配置した固定部とされる。電子ビーム出射ヘッド機構部13は、静圧軸受部22を介して真空槽11に回転自在に支持されるヘッド取付部材35に、その回転中心O1に対して電子ビーム軸L1が偏芯されるようにして搭載される。電子ビーム出射ヘッド機構部13は、回転するディスク原盤1に対して円弧状軌道に沿って半径方向に移動する。

請求項（抜粋）：

主面に電子線用レジスト層が成膜形成されてなるディスク原盤をターンテーブル上に位置決め保持した状態で収納する真空槽と、上記ターンテーブルを含み上記ディスク原盤を所定の速度で回転駆動する原盤回転機構部と、上記真空槽内に臨ませられた電子ビーム出射面から記録する情報信号等に応じて電子ビームスポットを上記ディスク原盤の主面に照射して上記電子線用レジスト層のカッティングを行う電子ビーム出射ヘッド機構部とを備え、上記原盤回転機構部と電子ビーム出射ヘッド機構部とは、いずれか一方の機構部が固定部として構成されるとともに他方の機構部が上記真空槽に対して静圧軸受によって回転部を支持されてなる回転駆動機構にその回転中心に対して偏芯された位置に搭載されることにより円弧状の軌道上に沿って移動される回動部として構成されてなり、上記原盤回転機構によって回転駆動される上記ディスク原盤に対して、上記電子ビームスポットが半径方向にスパイラル状に移動して上記電子線用レジスト層のカッティングが行われることを特徴としたディスク原盤作成装置。

IPC (2件)：

G11B 7/26 501 , G11B 11/10 541

FI (2件)：

G11B 7/26 501 , G11B 11/10 541 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

情報記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-276068 出願人：パイオニア株式会社
特開昭60-066347

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