特許

J-GLOBAL ID：200903028981725635

外観検査装置

発明者： 河上 千倉
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (5件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-113822
公開番号（公開出願番号）：特開2009-264882
出願日： 2008年04月24日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：

【課題】検査者による欠陥の見逃しや欠陥評価のバラツキを抑えて正確にかつ効率良く被検物の表面の外観検査を行うことが可能な外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査装置1は、被検物の表面を撮影するための撮影手段5cと、撮影手段を制御して画像データを生成し出力する制御手段11と、画像データを解析して被検物の表面の欠陥を検出し欠陥データを取得する解析手段12と、画像データと対応する被検物の表面の観察像及び欠陥データと対応する被検物の表面の欠陥情報からなる画像を生成する画像生成手段15と、画像を表示する表示手段6と、画像データ及び欠陥データを格納する格納手段14と、画像上で任意に欠陥を選択可能な選択手段7とを備え、画像生成手段15は、選択手段7によって画像上の欠陥が選択されると当該欠陥と他の欠陥とを区別した画像を格納手段14に格納された画像データ及び欠陥データから再生成し表示手段6に表示させる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被検物の表面を撮影するための撮影手段と、 該撮影手段を制御し、該撮影手段の撮影により画像データを生成し出力する制御手段と、 該制御手段によって生成された前記画像データを解析して前記被検物の表面の欠陥を検出し、該欠陥の特性を示す欠陥データを取得する解析手段と、 前記制御手段から出力された前記画像データと対応する前記被検物の表面の観察像、及び、前記解析手段によって取得された前記欠陥データと対応する前記被検物の表面の欠陥情報からなる画像を生成する画像生成手段と、 該画像生成手段によって生成された前記画像を表示する表示手段と、 前記制御手段から出力された前記画像データ、及び、前記解析手段で取得された前記欠陥データを格納する格納手段と、 前記表示手段によって表示された前記画像上で任意に欠陥を選択可能な選択手段とを備え、 前記画像生成手段は、該選択手段によって前記画像上の欠陥が選択されると、当該欠陥と他の欠陥とを区別した画像を、前記格納手段に格納された前記画像データ及び前記欠陥データから再生成し、前記表示手段に表示させることを特徴とする外観検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00

FI (2件)：

G01N21/88 J ,  G01M11/00 L

Fターム (13件)：

2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051AC21 ,  2G051BB03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CB07 ,  2G051EA16 ,  2G051EC01 ,  2G051FA02 ,  2G086FF05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 表面測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-293306   出願人：旭光学工業株式会社