特許
J-GLOBAL ID：200903029016986449

リニア・モーター及びそのための流体循環システム並びに露光装置

発明者：
アンドリュー・ジェイ・ヘイゼルトン

アンドリュー・ジェイ・ヘイゼルトン について

, 
小野 一也

小野 一也 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 川北 喜十郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-357066
公開番号（公開出願番号）：特開2001-218443
出願日： 2000年11月24日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：
【要約】【課題】 ステージ装置などに使用されるリニア・モータのコイルからの発熱の影響を最小化するための流体循環システムを提供する。【解決手段】 シャフト型リニア・モーター(12)を冷却する循環システム(10)は、マグネット・アレイ(22)とコイル・アセンブリ(16)とを有するリニアモーター(12)を備える。循環システム(10)は、コイル・アセンブリ(16)を囲み、コイル・ハウジング(36)とコイル・アセンブリ(16)の間に流体通路(46)を画定するコイル・ハウジング(36)を具備する。流体源(42)からの流体(44)は導入口(38)を介して流体通路(46)に通される。流体(44)の流量を制御して、コイル・ハウジング(36)の外面(111)を或る設定温度に保ち、周囲の環境及び周囲の構成要素に対するモーターの影響(12)を制御する。
請求項（抜粋）：
コイル・アセンブリを含むリニア・モーター用の流体循環システムであって、流体源と;第1本体セクションを含むコイルハウジングであって、第1本体セクションがコイル・アセンブリの少なくとも一部をほぼ囲み且つ前記コイル・ハウジングと前記コイル・アセンブリとの間に流体通路を提供する大きさと形状を有する上記コイル・ハウジングと;前記流体通路への導入口であって、前記流体通路に前記流体源から流体を供給することができるように前記流体源と流体連通する導入口とを有する流体循環システム。
IPC (5件)：
H02K 41/02 ,  F04B 23/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H02K 9/19
FI (5件)：
H02K 41/02 Z ,  F04B 23/02 E ,  G03F 7/20 521 ,  H02K 9/19 Z ,  H01L 21/30 516 B
引用特許：
審査官引用 (5件)
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