特許
J-GLOBAL ID：200903029080223807

試料の界面応力解析方法

発明者：
大石 隆一

大石 隆一 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-167539
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014470
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 ラマン分光法を用いて試料の界面近傍に作用する単位長さ当たりの力または単位面積当たりの力を定量的に求める。【解決手段】 レーザ部から発光する単一波長のレーザビームをレンズ系を介して試料の界面に入射し、前記界面から反射するラマン光のピーク値を前記レンズ系及び分光器を介して検出部によって検出し、入射光の単一波長に対する前記ラマン光のピーク値の波長のずれをラマンスペクトルのピーク値のシフト量として算出しかつ前記シフト量及び入射光の中心位置を変数として単位長さ当たりまたは単位面積当たりの応力を算出する応力算出式を線形弾性論に基づいてプログラムした応力算出部を有するコンピュータによって試料の界面近傍に作用する応力分布を求めるよう構成される。
請求項（抜粋）：
レーザ部から発光する単一波長のレーザビームをレンズ系を介して試料の界面に入射し、前記界面から反射するラマン光のピーク値を前記レンズ系及び分光器を介して検出部によって検出し、入射光の単一波長に対する前記ラマン光のピーク値の波数のずれをラマンスペクトルのピーク値のシフト量として算出しかつ前記シフト量及び入射光の中心位置を変数として単位長さ当たりまたは単位面積当たりの応力を算出する応力算出式を線形弾性論に基づいてプログラムした応力算出部を有するコンピュータによって試料の界面近傍に作用する応力分布を求めることを特徴とする試料の界面応力解析方法。
IPC (3件)：
G01L 1/00 ,  G01J 3/44 ,  G01N 21/65
FI (3件)：
G01L 1/00 B ,  G01J 3/44 ,  G01N 21/65
引用特許：
審査官引用 (4件)
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