特許
J-GLOBAL ID：200903029090549930
光ディスク貼り合わせ装置及び光ディスク貼り合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-322603
公開番号（公開出願番号）：特開2005-038604
出願日： 2004年11月05日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】光ディスクを貼り合わせで製造する場合において、接着層厚みを高精度に制御できる装置を実現する。 【解決手段】ディスク基板1A、1Bを固定する回転テーブル101と、接着層1Cの厚みを測定する厚み測定器103と、回転テーブル101の回転を制御する回転制御装置104とを備え、厚み測定器103は、接着層1Cの厚みが最大及び最小となる2ヶ所のディスク半径位置に設置されており、ディスク基板1A、1Bが一定回転数で回転し始めた後に厚みモニターを開始し、接着層1Cの厚みが最小となる測定点の厚み測定値が、その測定点用の所定の厚み以下になった時点で接着層1Cの厚みが最大となる測定点の厚みデータの測定結果を確認し、その測定結果が、最大となる測定点用の所定の厚みより小さい場合には、回転テーブル101の回転を止め、最大となる測定点用の所定の厚みより大きい場合には、回転テーブル101の回転数を遅くする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
2枚以上のディスク基板を接着層を介して貼り合わせる光ディスク貼り合わせ装置において、
前記ディスク基板を固定する回転テーブルと、前記接着層の厚みを測定するための厚み測定器と、前記回転テーブルの回転を制御するための回転制御装置とを備え、
前記厚み測定器は、前記接着層の厚みが最大および最小となる少なくとも2ヶ所のディスク半径位置に設置されており、
前記ディスク基板が一定回転数で回転し始めた後に厚みモニターを開始し、前記接着層の厚みが最小となる測定点に設置されている前記厚み測定器による厚みデータの測定値が、最小となる測定点用の予め設定されている所定の厚み以下になった時点で、前記接着層の厚みが最大となる測定点に設置されている前記厚み測定器の厚みデータの測定結果を確認し、前記測定結果が、最大となる測定点用の予め設定されている所定の厚みより小さい場合には、前記回転テーブルの回転を止め、前記最大となる測定点用の所定の厚みより大きい場合には、前記回転テーブルの回転数を遅くすることを特徴とする光ディスク貼り合わせ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
5D029RA50
, 5D121AA07
, 5D121FF01
, 5D121FF18
