特許
J-GLOBAL ID：200903029108849022
ダイシングシ-ト上のチップの分離方法及び分離装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-371623
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195877
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】 ダイシングシート上のチップの剥離状態を良くすることができ、ダイシングシートから安定してチップをピックアップできる分離方法及び分離装置を提供する。【解決手段】 チップ3が貼付けられたダイシングシート21を引張状態で保持するシート保持機構5と、チップ3の寸法に対応した複数の真空吸引可能な溝2aが形成された吸着ステージ2と、チップ3をダイシングシート21から分離するときにダイシングシート21を吸着ステージ2に真空吸着するための真空吸引機構6とを備え、前記吸着ステージ2によってダイシングシート21を真空吸着することにより、チップ3とダイシングシート21を分離してピックアップするようにした。
請求項（抜粋）：
ダイシングシートに貼付けられたチップの寸法に対応した複数の真空吸引可能な溝が形成された吸着ステージによってダイシングシートを真空吸着することにより、チップとダイシングシートを分離してチップをピックアップすることを特徴とするダイシングシート上のチップの分離方法。
Fターム (1件)：
引用特許：
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