有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法および製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋元輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-178461
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077662
出願日： 2002年06月19日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】従来の製造装置では、膜の厚み方向に変化する成分比を正確に制御するのが困難であり、例えば製品毎に発光色の相違を生じるなどして、均一な製品の生産が不可能である問題点を生じていた。【解決手段】本発明により、対向する陽極電極と陰極電極の間に少なくとも1層の複数の有機化合物から構成され、混合比が厚さ方向で異なる傾斜有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であり、同一の真空成膜室2内に仕切り板5を挟んで配置した複数の有機化合物の蒸発源3に対して相対的に基板11を移動させることにより傾斜有機層を作製する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、および、製造装置1とすることで、成分比の正確な制御を可能とし課題を解決するものである。

請求項（抜粋）：

対向する陽極電極と陰極電極の間に少なくとも1層の二種以上の有機化合物から構成され、混合比が厚さ方向で異なる傾斜有機層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、同一の真空成膜室内に仕切り板を挟んで配置した複数の有機化合物の蒸発源に対して相対的に基板を移動させること、および/または同一の真空成膜室内における基板の相対的な移動方向において蒸発量が異なる複数の蒸発源を備えることにより傾斜有機層を作製することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。

IPC (4件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/24 , H05B 33/14

FI (4件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/24 C , H05B 33/14 A

Fターム (11件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029BB00 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DA10 , 4K029DB12 , 4K029DB14

引用特許：

審査官引用 (9件)

電界発光素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-222386 出願人：電気化学工業株式会社
Al-Nb合金めっき材およびAl-Nb系積層めっき材、ならびにこれらめっき材の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-184338 出願人：株式会社神戸製鋼所
蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-258684 出願人：コニカ株式会社

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