特許

J-GLOBAL ID：200903029119764541

ミクロ-テクスチャーを備えた研磨パッド

発明者： バリー スコット ピンヘイロ ,  スティーブン ノーグラー
出願人/特許権者： ロデール ホールディングス インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 津国 肇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-285787
公開番号（公開出願番号）：特開2002-144220
出願日： 2001年09月19日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
要約：

【要約】【課題】 研磨パッド表面の統計学的に均一なミクロ-テクスチャーが慣らし運転の前コンディショニング時間を改良する。【解決手段】 このミクロ-テクスチャーは、陸地表面積粗さRaが約0.01μmから約25μm の範囲、平均最高値/最低値粗さRtmが約2μmから約40μm の範囲、中心粗さ深さRkが約1μmから約10μmの範囲、減少した最高値高さRpkが約0. 1μmから約5μmの範囲、減少した最低値高さRvkが約0.1μmから約10μmの範囲、そして、表面積比で表された最高値密度Rsaが0.001から2.0である。

請求項（抜粋）：

ミクロ-テクスチャーを備えた研磨表面を有する層を含む研磨パッドであって、前記ミクロ-テクスチャーは、i.陸地表面粗さRaが、約0.01μmから約25μmの範囲ii.最高値対最低値粗さRtm が、約2μmから約40μmの範囲iii.中心部粗さ深さRkが、約1μmから約10μmの範囲iv.減少した最高値高さRpk が、約0.1μmから約5μmの範囲v.減少した最低値高さRvk が、約0.1μmから約10μmの範囲vi.最高値密度Rsaが約0.001から約2.0の範囲である研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  B24B 53/02

FI (2件)：

B24B 37/00 C ,  B24B 53/02

Fターム (4件)：

3C047AA34 ,  3C058AA09 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 化学的機械研磨装置で使用するためのみぞ付パターンを有する研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-171993   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド