特許

J-GLOBAL ID：200903029126865329

蒸着マスク付シート、蒸着マスク装置の製造方法、および、蒸着マスク付シートの製造方法

発明者： 小 川 和 也
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (5件)： 吉武 賢次 ,  永井 浩之 ,  岡田 淳平 ,  勝沼 宏仁 ,  堀田 幸裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-218638
公開番号（公開出願番号）：特開2009-052073
出願日： 2007年08月24日
公開日（公表日）： 2009年03月12日
要約：

【課題】極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを含み、取り扱い中に蒸着マスクを破損してしまうことを抑制することができる蒸着マスク付シートを提供する。【解決手段】蒸着マスク付シート60は、樹脂製シート32と、前記樹脂製シートと積層された金属製シート34とを備えている。金属製シート34には、複数の孔25が形成されている。前記金属製シート34は、前記樹脂製シート32と分離された後に、蒸着マスク20として用いられるようになる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

樹脂製シートと、 前記樹脂製シートと積層された金属製シートであって、複数の孔が形成された金属製シートと、を備え、 前記金属製シートは、前記樹脂製シートと分離された後に蒸着マスクとして用いられるようになる ことを特徴とする蒸着マスク付シート。

IPC (3件)：

C23C 14/04 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10

FI (3件)：

C23C14/04 A ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10

Fターム (20件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC35 ,  3K107CC45 ,  3K107GG33 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K057WA11 ,  4K057WB02 ,  4K057WB03 ,  4K057WB04 ,  4K057WB05 ,  4K057WD01 ,  4K057WE08 ,  4K057WM04 ,  4K057WN08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• メタルマスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-191721   出願人：日立金属株式会社