特許

J-GLOBAL ID：200903029135619756

基板処理装置

発明者： 藤井 健二
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (2件)： 稲岡 耕作 ,  川崎 実夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-157715
公開番号（公開出願番号）：特開2006-332542
出願日： 2005年05月30日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：

【課題】ファンフィルタユニットや電装ボックスなどの付帯物を装置本体から外すことなく、輸送時に装置本体を梱包したときの高さ方向のサイズを小さくすることができる基板処理装置を提供する。 【解決手段】装置本体2には、その付帯物として、たとえば、処理チャンバ7〜10の電装品をそれぞれ収容する4つのチャンバ用電装ボックス15が備えられている。各チャンバ用電装ボックス15は、装置本体2の上面の周縁部において搬送室5の長手方向に沿って延びる回動軸19を支点として、装置本体2の上方に配置される使用時位置と、装置本体2の側方に配置される輸送時位置とに回動変位させることができる。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

基板に対して処理を施すための基板処理装置であって、 装置本体と、 少なくとも一部が前記装置本体の上方に配置される使用時位置と、この使用時位置よりも下方の輸送時位置とに変位可能に設けられた付帯物とを含むことを特徴とする、基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  G02F 1/13

FI (2件)：

H01L21/02 Z ,  G02F1/13 101

Fターム (5件)：

2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-028145   出願人：東京エレクトロン株式会社