特許
J-GLOBAL ID：200903029186583861
クリーンルーム構造
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
島添 芳彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-030354
公開番号（公開出願番号）：特開2007-212015
出願日： 2006年02月07日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：
【課題】避難経路の短縮及び二方向避難経路の確保を可能にするとともに、室内気流分布の乱れ又は攪乱気流をクリーンルーム内空間に発生させずにメンテナンス等のための開口をクリーンルームに形成する。【解決手段】作業員等の歩行領域(5)をクリーンルームの床(2)の下側に設け、床を通過した空気流を歩行領域に流下させる。クリーンルーム内空間(1)と歩行領域との間で作業員等が上下移動するための階段(30)又は昇降手段を設け、通気性を有する区画手段(35,36,37)によって階段又は昇降手段を歩行領域から区画する。階段又は昇降手段の開口(33)を介して歩行領域に流出する空気流が床の通風抵抗に相応する空気抵抗を受けるように、区画手段の通気性を設定する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
天井面から下方に清浄空気流を吹出し、室内領域を流下する気流を床面の吸込口から吸込む方式の空調システムを備え、製造装置及び搬送装置を物流経路に沿ってクリーンルームの床に配列したクリーンルーム構造において、
前記吸込口を備えた下階空間を前記クリーンルームの下側に形成し、前記クリーンルームの床を通過した気流が前記下階空間に流下するように構成し、
作業員等の歩行通路を前記下階空間に配設し、前記クリーンルーム内の空間と前記歩行通路との間で作業員等が上下移動するための階段又は昇降手段を前記クリーンルームと前記歩行通路との間に設け、
前記歩行通路及び前記階段又は昇降手段を前記下階空間から区画するとともに、該区画を少なくとも部分的に通気性区画手段によって形成し、
前記階段又は昇降手段の開口を介して前記クリーンルーム内空間から前記歩行通路に流入する空気流が前記通気性区画手段を介して前記下階空間に流出するようにしたことを特徴とするクリーンルーム構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
3L058BF01
, 3L058BF07
, 3L058BG01
