表面改質方法及び表面改質装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-136393
公開番号（公開出願番号）：特開平10-324967
出願日： 1997年05月27日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】表面改質を行いたい対象物が表面改質を行うことによって形状が変化してしまうと困るようなものであっても、容易に表面改質を行える表面改質方法及び表面改質装置を提供することを目的とする。【解決手段】基体12の表面に基体を構成する元素と異なる元素を含有する表面改質材料14を導入して基体の表面を改質するにあたり、ガス化された表面改質材料をプラズマ化してプラズマ領域19を形成した後、プラズマ領域19中に存在するイオン化された表面改質材料をプラズマ領域19から引き出して基体表面に照射する。これにより、電界により加速させることの可能なイオン化された表面改質材料110のみを加速させて基体12表面付近に照射することができ、表面改質材料の薄膜を形成することなく基体表面の特性を改質することができる。

請求項（抜粋）：

基体の表面に前記基体を構成する元素とは異なる元素を含有する表面改質材料を導入して前記基体の表面を改質する表面改質方法であって、ガス化された前記表面改質材料をプラズマ化してプラズマ領域を形成し、前記プラズマ領域中に存在するイオン化された前記表面改質材料を前記プラズマ領域から引き出して前記基体表面に照射して前記表面改質材料を前記基体表面に導入することを特徴とする表面改質方法。

IPC (2件)：

C23C 14/32 , C23C 16/50

FI (2件)：

C23C 14/32 Z , C23C 16/50

引用特許：

出願人引用 (4件)

イオン注入方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-063090 出願人：新日本製鐵株式会社
金属イオン注入装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-051896 出願人：日新電機株式会社
イオンシャワードーピング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-033253 出願人：石川島播磨重工業株式会社

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審査官引用 (7件)

イオン注入方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-063090 出願人：新日本製鐵株式会社
金属イオン注入装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-051896 出願人：日新電機株式会社
イオンシャワードーピング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-033253 出願人：石川島播磨重工業株式会社

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