特許
J-GLOBAL ID：200903029187687024
有機電界発光素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-137561
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315077
出願日： 1992年05月01日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、発光特性、電気特性、耐久性などにすぐれた有機電界発光素子の製造方法を得ることを目的とする。【構成】 この発明の有機電界発光素子の製造方法においては、有機発光層、キャリア輸送層および電極の成膜の際(共蒸着による場合を含む)に、少なくとも一つの膜(あるいは共蒸着に係る少なくとも一種の成膜物質)をイオンクラスタビーム法(ICB法)で成膜する。
請求項（抜粋）：
有機発光層を成膜する工程と、この有機発光層に接合する正孔輸送層を成膜する工程と、前記有機発光層に接合する電子輸送層を成膜する工程と、前記正孔輸送層に接合する陽極を成膜する工程と、前記電子輸送層に接合する陰極を成膜する工程を含む有機電界発光素子の製造方法において、上記の成膜工程の少なくとも一つをイオンクラスタービーム法により行うことを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。
IPC (4件)：
H05B 33/10
, H01L 29/28
, H01L 33/00
, H01L 21/203
