特許
J-GLOBAL ID：200903029214627241
テープキャリアの欠陥検査装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須田 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-138653
公開番号（公開出願番号）：特開2004-342887
出願日： 2003年05月16日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：
【課題】テープ基材の伸縮に起因するIL(インナーリード)の位置ずれを検査可能にする。【解決手段】本発明の欠陥検査装置は、検査対象のテープキャリアをカメラで撮像した被検査パターンを入力する手段(S61)と、前記被検査パターンについて、IL列設方向における前記テープキャリアの所定部位の長さを検出する手段(S65,S67)と、基準となるマスターパターンにおける前記所定部位の長さに対する、前記被検査パターンにおける前記所定部位の長さの比を算出する手段(S69)と、該被検査パターンについて、前記IL列設方向における各ILに関する距離を検出する手段(S65,S70,S71)と、該距離を前記比により補正する手段(S72)等を含んでいる。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
テープキャリアのテープ基材に列設された複数本のインナーリードからなるリード列における該インナーリードの変形を、基準となるテープキャリアのマスターパターンと比較して検査する欠陥検査装置であって、
前記マスターパターンについて、インナーリード列設方向におけるテープキャリアの所定部位の長さと、前記インナーリード列設方向における各インナーリードの位置を特定する所定距離とを含むマスターパターン情報が記憶された記憶手段と、
検査対象のテープキャリアをカメラで撮像した画像である被検査パターンを入力する手段と、
前記被検査パターンについて、前記所定部位の長さを検出する手段と、
前記マスターパターンにおける前記所定部位の長さに対する、前記被検査パターンにおける前記所定部位の長さの比を算出する手段と、
前記被検査パターンについて、前記所定距離を検出する手段と、
検出した該所定距離を前記比により補正する手段と、
該補正後の所定距離を、前記マスターパターンの対応する所定距離と比較して検査する手段とを備えたテープキャリアの欠陥検査装置。
IPC (3件)：
H01L21/60
, G01B11/30
, G06T1/00
H01L21/60 311W
, G01B11/30 A
, G06T1/00 305B
2F065AA03
, 2F065AA49
, 2F065BB11
, 2F065BB15
, 2F065CC17
, 2F065FF04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065MM03
, 2F065PP13
, 2F065QQ24
, 2F065QQ39
, 2F065QQ42
, 2F065RR08
, 5B057AA03
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CC03
, 5B057CH08
, 5B057DA03
, 5B057DA07
, 5B057DB02
, 5B057DC02
, 5B057DC33
, 5F044MM48
, 5F044MM49
