気相反応装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-126829
公開番号（公開出願番号）：特開平7-316824
出願日： 1994年05月17日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：

【要約】【目的】電極間で放電が均一に行うことのできる気相反応装置を提供する。【構成】一対の電極11と12とで構成される気相反応装置において、一方の電極11の表面を凹凸形状を有したものとする。特に凸部の密度を電極の中心部で大きくなるようにする。こうして電極間において均一な放電が生じる構成を実現する。

請求項（抜粋）：