特許
J-GLOBAL ID：200903029245158428
防振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-014777
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184536
出願日： 1996年01月04日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 精度の良い除振台の物理パラメータにより床振動のフィードフォワードによける補償パラメータを設定し、もって防振特性の向上を図る。【解決手段】 除振台を駆動するアクチュエータ8と、除振台を設置した床に設けられた加速度センサ9と、この検出信号に所定の補償パラメータに基づく補償を施す補償手段11と、この補償手段の出力に基づいて前記アクチュエータを駆動する駆動手段7とを備えた防振装置において、前記補償パラメータは、前記アクチュエータを駆動させて前記除振台に振動を加えるための発振器14と、前記除振台に設けられた加速度センサ2と、この加速度センサおよび前記発振器の出力に基づいて、前記振動を加える場合の周波数応答における実数部曲線のデータを算出し、これに基づいて前記除振台を支持するばね定数もしくはこれに加えて粘性摩擦係数を得る手段17と、このばね定数もしくはこれに加えて粘性摩擦係数により前記補償手段における所定の補償を行うためのパラメータを設定する手段18とを備えたパラメータ設定手段により設定されたものである。
請求項（抜粋）：
除振台を駆動するボイスコイルモータ、前記除振台の振動を検出する第1の加速度センサ、前記第1の加速度センサの出力を電気信号に変換しかつ適切なフィルタリング処理をするための前置フィルタ、前記前置フィルタの出力を積分するための積分補償器、および前記積分補償器の出力信号に応動して前記ボイスコイルモータを励磁する電力増幅器とを有するフィードバック装置と、前記除振台を設置する床振動を検出する第2の加速度センサ、前記第2の加速度センサの出力を電気信号に変換しかつ適切なフィルタリング処理を行うためのフィルタ、およびこのフィルタの出力信号に対して補償を施し前記電力増幅器の前段へフィードフォワードするための適切な伝達関数を有する床振動フィードフォワード補償器とを有するフィードフォワード装置とを備える防振装置において、前記フィードバック装置と前記フィードフォワード装置内の信号を断続させるための電子スイッチと、前記電力増幅器を励磁して前記除振台を駆動するための発振器と、前記発振器の出力信号と前記前置フィルタの出力信号とを取り込んで前記除振台の力学的な物理パラメータを算出する物理パラメータ算出手段と、前記物理パラメータ算出手段の出力に基づいて前記床振動フィードフォワード補償器の補償パラメータを設定する補償パラメータ設定手段とを備えたことを特徴とする防振装置。
IPC (3件)：
F16F 15/02
, G05D 19/02
, H01L 21/027
F16F 15/02 A
, G05D 19/02 D
, H01L 21/30 503 F
