特許
J-GLOBAL ID：200903029286426631

レーザーダイシング装置及びダイシング方法

発明者：
伊藤 良祐

伊藤 良祐 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-327251
公開番号（公開出願番号）：特開2009-152289
出願日： 2007年12月19日
公開日（公表日）： 2009年07月09日
要約：
【課題】改質領域形成加工中に蒸散溶融物の発生の有無について把握することができ、蒸散溶融物の発生によるチップ不良やダイシング精度の低下を防止することが可能なレーザーダイシング装置及びダイシング方法を提供する。【解決手段】収容部12に収容されたウェーハWにレーザー光を照射するレーザー光学部40を備えるレーザーダイシング装置10に、収容部12の内部の清浄度を測定するパーティクルカウンター50と、収容部12に清浄な気体を導入する吸気FFU54と、収容部12の内部の気体を排出する排気FFU56とを設ける。パーティクルカウンター50により測定された収容部12の内部の清浄度がしきい値を下回ると、吸気FFU54及び排気FFU56が、制御部60の指示に従って、蒸散溶融物で汚染された収容部12の内部の気体を、清浄な気体で置換する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
収容部の内部に収容されたウェーハにレーザー光を照射して、前記ウェーハに改質領域を形成するレーザーダイシング装置であって、 前記収容部の内部の清浄度を測定する清浄度測定手段と、 前記清浄度測定手段により測定された前記清浄度に基づいて、前記収容部の内部から塵埃を除去する除去手段とを備えるレーザーダイシング装置。
IPC (4件)：
H01L 21/301 ,  B23K 26/38 ,  B23K 26/40 ,  B23K 26/16
FI (4件)：
H01L21/78 B ,  B23K26/38 320 ,  B23K26/40 ,  B23K26/16
Fターム (4件)：
4E068AE00 ,  4E068CE04 ,  4E068CG02 ,  4E068DA10
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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