特許
J-GLOBAL ID：200903029304494666
液体噴射ヘッドの検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-064075
公開番号（公開出願番号）：特開2008-221652
出願日： 2007年03月13日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：
【課題】不良の発生位置及びその原因を特定することができる液体噴射ヘッドの検査方法を提供する。【解決手段】流路形成基板10上に圧電素子300を形成する際に、圧電素子の下電極膜60及び上電極膜80とは電気的に独立する第1の独立電極層100Aを振動板上の少なくとも開口部の周縁部に形成しておき、液体噴射ヘッドの第1及び第2の液体流路内に導電性液体を充填した状態で、圧電素子の下電極膜及び第1の独立電極層と、導電性液体との間での導通状態をそれぞれ検出する導通検査工程を実施する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
液滴を吐出するノズルに連通する圧力発生室を含む第1の液体流路を有する流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極膜、圧電体層及び上電極膜からなる圧電素子と、前記流路形成基板の一方面側に接着剤によって接合され前記振動板に設けられた開口部を介して前記第1の液体流路に連通する第2の液体流路を有する接合基板とを有する液体噴射ヘッドの検査方法であって、
前記流路形成基板上に前記圧電素子を形成する際に、前記圧電素子の前記下電極膜及び前記上電極膜とは電気的に独立する第1の独立電極層を前記振動板上の少なくとも前記開口部の周縁部に形成しておき、
前記液体噴射ヘッドの前記第1及び第2の液体流路内に導電性液体を充填した状態で、前記圧電素子の下電極膜及び前記第1の独立電極層と、前記導電性液体との間での導通状態をそれぞれ検出する導通検査工程を実施することを特徴とする液体噴射ヘッドの検査方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
2C057AF93
, 2C057AG14
, 2C057AG44
, 2C057AG55
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP82
, 2C057AQ02
