特許
J-GLOBAL ID：200903055174586459
液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-193909
公開番号（公開出願番号）：特開2004-262225
出願日： 2003年07月08日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】液体吐出特性を長期間一定に維持することができ且つノズル詰まりを防止した液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】シリコン単結晶基板からなりノズル開口に連通する圧力発生室12が形成される流路形成基板10と、圧力発生室12内に圧力変化を生じさせる圧力発生素子300とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、少なくとも圧力発生室12の内壁表面に酸化タンタルからなる耐液体性の保護膜100を設ける。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶基板からなりノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧力発生素子とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、
少なくとも前記圧力発生室の内壁表面に酸化タンタルからなる耐液体性の保護膜が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (3件)：
B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF70
, 2C057AF72
, 2C057AG39
, 2C057AG44
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP02
, 2C057AP34
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057AP54
, 2C057AP56
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA14
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (12件)
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