特許

J-GLOBAL ID：200903029307138780

感光性化合物および感光性組成物

発明者： 前田 勝美 ,  中野 嘉一郎 ,  岩佐 繁之 ,  長谷川 悦雄
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-233820
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092675
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【構成】 本発明による感光性化合物(I)は、R1 、R4 が炭素数1ないし8の直鎖状、分岐状、または環状アルキル基、R2 は炭素数2ないし9の直鎖状、分岐状、または環状アルキル基、R3 、R5 は2-オキソアルキル基、Y- が対イオンであることを特徴とする。【効果】 本発明のアルキルスルホニウム塩は、220nm以下の遠紫外領域に対し高い透明性を有し、かつ遠紫外光等の放射線により有効にプロトン酸を発生することから、遠紫外光(とりわけ220nm以下の短波長光)用フォトレジストの感光剤(光酸発生剤)として有用である。【化7】

請求項（抜粋）：

下記の一般式(I)で表される感光性化合物【化1】(但し、R1 、R4 は炭素数1ないし8の直鎖状、分岐状、または環状アルキル基、R2 は炭素数2ないし9の直鎖状、分岐状、または環状アルキル基、R3 、R5 は2-オキソアルキル基、Y- は対イオンで表す。)

IPC (6件)：

G03F 7/029 ,  C07C381/12 ,  C09K 3/00 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-017570   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 特開平3-095556