特許
J-GLOBAL ID：200903029358154020
静電アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-341281
公開番号（公開出願番号）：特開2004-180375
出願日： 2002年11月25日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：
【課題】アース線を設けることなく可動子の電荷を除去できる静電アクチュエータを提供する。【解決手段】固定子3、4は、絶縁部材から形成されており、互いに対向する表面3a、4aには、それぞれ固定子電極10、11が形成されている。また、表面3a、4aには、凸部3c、4cが可動子5の移動方向(図1A方向)に沿ってそれぞれ2つずつ形成されている。この凸部3c、4cにより、可動子電極5aが固定子電極10、11に接触することを防止できる。ここで、凸部3c、4cには可動子5が接触する箇所に導電性材料が被膜されており、外部の不図示の接地電極に接続されている。これにより、可動子5が凸部3c、4cに接触した際に、凸部3c、4cの導電性材料の被膜によって可動子5の電荷が除去できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
各々の表面に固定子電極を有し当該固定子電極が互いに平行に対向するように配置される1対の固定子と、上記1対の固定子の間に配置されるとともに上記固定子電極との対向面に可動子電極を有し上記固定子電極に所定の電圧を印加することにより上記1対の固定子に対し平行移動する可動子と、上記1対の固定子を互いに対向させて支持するとともに上記可動子の移動を案内する固定子枠とを備え、
上記可動子には、上記固定子との対向面に接地用の導電部が形成されており、
上記固定子の上記表面には、上記導電部と接触して上記可動子電極が上記固定子電極に接触することを防止するとともに、上記可動子を接地する導電性の凸部が形成されている
ことを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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