情報記録担体用フォトレジスト及び情報記録担体

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-239160
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072626
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】光ディスクにおいて垂直な側面を有するピット又はグル-ブを形成して、ジッタ-値を小さく出来るようにし、それにより高品質で高記録密度に適したディスクを提供する。【構成】情報記録担体用ポジ型フォトレジストであって、340〜460nmの波長を有する紫外線に感光し、紫外線の露光量の増加するとき現像後の膜厚が減少し始める露光量をE0 とし、前記膜厚が0となる露光量をETHとするとき、(log 10( ETH/E0 ))-1≧2.5となる関係を満した。

請求項（抜粋）：

情報記録担体用ポジ型フォトレジストであって、340〜460nmの波長を有する紫外線に感光し、紫外線の露光量の増加するとき現像後の前記フォトレジストの膜厚が減少し始める露光量をE0 とし、前記膜厚が0となる露光量をETHとするとき、(log 10( ETH/E0 ))-1≧2.5となる関係を満した事を特徴とするフォトレジスト。

IPC (4件)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 511 , G03F 7/26 501 , G11B 7/24 516

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-113249
特開平2-282745
特開昭63-311350

全件表示

前のページに戻る