光アレイモジュール及び反射鏡アレイ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-185064
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019357
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】光ファイバとの光結合のトレランスを広くするために、レンズを用いずに、加工精度の高いSiの異方性エッチングなどで形成したテーパ部によりアライメントされ、さらには光集光機能を有する反射鏡アレイを搭載した光アレイモジュールを提供することを目的とする。【解決手段】加工精度の高いSiの異方性エッチングなどで形成したテーパ部により光ファイバを位置精度良くガイドすることにより、正確且つ容易にアライメントすることができ、高い効率の光結合を実現することができる。さらには、光集光機能を有する反射鏡アレイを用いることにより、レンズを用いずに結合の効率を改善し、光結合のトレランスを拡大することが可能となる。

請求項（抜粋）：

光半導体素子と、略テーパ状の内壁面を有する貫通孔が形成された反射鏡アレイと、光ファイバと、を備え、前記光ファイバの一端は前記反射鏡アレイの前記貫通孔の一端側に配置され、前記光半導体素子は、前記反射鏡アレイの前記貫通孔の他端側に配置され、前記貫通孔の内壁面は反射鏡として構成され、前記光ファイバと前記光半導体素子とは前記貫通孔を介して光学的に結合されていることを特徴とする光アレイモジュール。

IPC (3件)：

G02B 6/42 , G02B 6/26 , H01L 31/0232

FI (3件)：

G02B 6/42 , G02B 6/26 , H01L 31/02 C

Fターム (15件)：

2H037AA01 , 2H037BA14 , 2H037BA35 , 2H037CA37 , 2H037DA03 , 2H037DA04 , 2H037DA06 , 2H037DA17 , 2H037DA35 , 5F088EA02 , 5F088JA02 , 5F088JA05 , 5F088JA09 , 5F088JA14 , 5F088JA18

引用特許：

審査官引用 (9件)

光素子と光ファイバの結合方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-245931 出願人：日本電気株式会社
特開昭55-151377
特開昭53-036248

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