特許

J-GLOBAL ID：200903029372917303

球体表面検査装置

発明者： 松岡 勝年
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-094413
公開番号（公開出願番号）：特開平10-054805
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】 被検査球体である鋼球の鋼球サイズに応じて光学系を変更することなく、被検査球体における全表面の性状を簡易且つ高精度に検査することができる球体表面検査装置を提供する。【解決手段】 光源駆動手段2により発光量が制御されたレーザダイオード1から射出された出射光束は、ビームスプリッタ4を透過して偏光手段7に向かい、さらに偏光手段7で反射されて第2の焦点B上に保持された被検査球体6の表面における少なくとも自転軸との各交点を含む検査領域部分に対し、自転軸に直交する方向から被検査球体6の中心に向けて垂直に入射する。

請求項（抜粋）：

被検査球体の表面性状を光学的に検査する球体表面検査装置において、前記被検査球体を所定位置に保持しながら該被検査球体の中心を通る所定軸線の周りに回転させる被検査球体駆動手段と、前記所定位置で前記所定軸線の周りに回転する前記被検査球体の表面における少なくとも前記所定軸線との各交点を含む検査領域部分に対し、光源から発せられた光を偏光し、前記被検査球体の中心に向けて照射する光照射手段と、前記被検査球体の表面における検査領域部分で反射された反射光を所定光路に沿って導き、該導いた反射光の光量を検出する光量検出手段と、前記検出された反射光の光量に基づき前記被検査球体の表面における検査領域部分の性状を判定する表面性状判定手段とを備えることを特徴とする球体表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24

FI (2件)：

G01N 21/88 A ,  G01B 11/24 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 球体表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-145689   出願人：日本精工株式会社
• 球体表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-078145   出願人：日本精工株式会社