特許
J-GLOBAL ID：200903029374579758

アモルファスカーボン膜被覆基材及びアモルファスカーボン膜の成膜方法

発明者：
坂井 智嗣

坂井 智嗣 について

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山崎 紀子

山崎 紀子 について

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団野 実

団野 実 について

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渡辺 俊哉

渡辺 俊哉 について


出願人/特許権者：
三菱重工業株式会社

三菱重工業株式会社 について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-001813
公開番号（公開出願番号）：特開2006-188734
出願日： 2005年01月06日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：
【課題】アモルファスカーボンと基材との密着力が向上すると共に、ガスバリヤ性を付与するアモルファスカーボン膜被覆基材及びアモルファスカーボン膜の成膜方法を提供する。【解決手段】本発明にかかるアモルファスカーボン膜被覆基材20は、基材21の表面に減圧下で放電プラズマによりアモルファスカーボン膜22を成膜してなるアモルファスカーボン膜被覆基材であって、前記基材21とアモルファスカーボン膜22との界面に、酸素、窒素のいずれか一方又は両方を有する活性処理層である活性処理層23を含むものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基材表面に減圧下で放電プラズマによりアモルファスカーボン膜を成膜してなるアモルファスカーボン膜被覆基材であって、 前記基材とアモルファスカーボンとの界面に、酸素、窒素のいずれか一方又は両方を有する活性処理層を含むことを特徴とするアモルファスカーボン膜被覆基材。
IPC (2件)：
C23C 16/27 ,  B65D 25/14
FI (2件)：
C23C16/27 ,  B65D25/14 Z
Fターム (26件)：
3E062AA07 ,  3E062AA09 ,  3E062AB02 ,  3E062AB03 ,  3E062AC02 ,  3E062JA01 ,  3E062JA07 ,  3E062JB24 ,  3E062JD01 ,  4K030AA09 ,  4K030BA28 ,  4K030BB12 ,  4K030CA05 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030CA08 ,  4K030CA12 ,  4K030CA15 ,  4K030DA02 ,  4K030FA01 ,  4K030JA01 ,  4K030JA06 ,  4K030JA09 ,  4K030JA16 ,  4K030LA01 ,  4K030LA18
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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