特許

J-GLOBAL ID：200903029396945006

ドライフィルムフォトレジスト

発明者： 若田 裕一
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-382960
公開番号（公開出願番号）：特開2005-148236
出願日： 2003年11月12日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

【課題】 高い解像度を有し、かつ高強度の硬化層(テント膜)を形成することのできる感光性樹脂組成物層を備えたドライフィルムフォトレジストを提供する。【解決手段】 支持体上に、バインダー、重合性モノマー成分、光重合開始剤、及び重合性基を有する無機微粒子を含む感光性樹脂組成物層を備えたドライフィルムフォトレジスト。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

支持体上に、バインダー、重合性モノマー成分、光重合開始剤、及び重合性基を有する無機微粒子を含む感光性樹脂組成物層を備えたドライフィルムフォトレジスト。

IPC (3件)：

G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  H05K3/06

FI (4件)：

G03F7/004 512 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/033 ,  H05K3/06 J

Fターム (27件)：

2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025CA00 ,  2H025CA01 ,  2H025CA28 ,  2H025CB43 ,  2H025CC08 ,  2H025DA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  5E339AC01 ,  5E339BC02 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CE11 ,  5E339CE14 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 架橋硬化型樹脂積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-083585   出願人：三菱レイヨン株式会社
• 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-302872   出願人：日立化成工業株式会社