特許
J-GLOBAL ID：200903029417841923
コーティングのジェットプラズマ蒸着方法と装置、および、そのコーティング
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-507863
公開番号（公開出願番号）：特表2001-514328
出願日： 1998年08月26日
公開日（公表日）： 2001年09月11日
要約：
【要約】本発明は、基板上に有機コーティングを形成する方法を提供する。本発明は、真空中に基板を用意する工程と、少なくとも1つのソースの少なくとも1つの成分を含み、約130Pa未満の真空中で縮合可能な少なくとも1つの有機材料蒸気を用意する工程と、該有機材料蒸気のソース以外の少なくとも1つのソースからプラズマを用意する工程と、有機材料蒸気とプラズマとを基板に向けて送り出す工程と、プラズマ存在下で有機材料蒸気を基板上に縮合および重合させて有機コーティングを形成する工程と、を含んでいる。また、カソードシステム(40)、アノードシステム(60)、および基板との接触前または接触時に有機材料とプラズマ(160)とが相互作用するように有機材料蒸気を供給する給油システム(120)を有する、基板(75)上にコーティングを形成するジェットプラズマ装置も開示されている。
請求項（抜粋）：
基板上に有機コーテイングを形成する方法であって、 真空室に基板を用意する工程と、 少なくとも1つのソースの少なくとも1つの成分を含み、約130Pa未満の真空中で縮合可能な少なくとも1つの有機材料蒸気を用意する工程と、 前記有機材料蒸気のソース以外の少なくとも1つのソースからプラズマを用意する工程と、 前記有機材料蒸気とプラズマとを前記基板に向けて送り出す工程と、 前記プラズマが存在する状態で前記基板上に前記有機材料蒸気を縮合および重合させて有機コーティングを形成する工程と、を含む方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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