特許
J-GLOBAL ID:200903084367727203

積層体及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-023853
公開番号(公開出願番号):特開平10-151696
出願日: 1997年02月06日
公開日(公表日): 1998年06月09日
要約:
【要約】【解決手段】 高分子成形物の少なくとも一面に、周期表の2族、8族、9族、10族および11族の金属からなる群から選ばれた少なくとも1種の金属の酸化物を付着させる表面処理を行い、次いで該表面処理面にガスバリア層が形成された積層体であって、前記ガスバリア層が、主としてケイ素酸化物からなる層、主としてケイ素窒化物からなる層、主としてケイ素炭化物からなる層のいずれかによって構成され、pH12以上のアルカリ性溶液に浸漬した後も、前記ガスバリア層が前記高分子成形物から剥離しない積層体。【効果】 透明性、耐アルカリ性を向上させ、アルカリ性のエッチング液でパターニングを行っても、性能が低下することのない積層体を提供する。
請求項(抜粋):
高分子成形物の少なくとも一面に、周期表の2族、8族、9族、10族および11族の金属からなる群から選ばれた少なくとも1種の金属の酸化物を付着させる表面処理を行い、次いで該表面処理面にガスバリア層が形成された積層体であって、前記ガスバリア層が、主としてケイ素酸化物からなる層、主としてケイ素窒化物からなる層、主としてケイ素炭化物からなる層のいずれかによって構成され、pH12以上のアルカリ性溶液に浸漬した後も、前記ガスバリア層が前記高分子成形物から剥離しない積層体。
IPC (6件):
B32B 9/00 ,  B32B 7/02 ,  B32B 27/06 ,  C23C 14/08 ,  C23C 16/18 ,  C23C 16/50
FI (6件):
B32B 9/00 A ,  B32B 7/02 ,  B32B 27/06 ,  C23C 14/08 N ,  C23C 16/18 ,  C23C 16/50
引用特許:
審査官引用 (8件)
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