下部電極

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶山佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-300288
公開番号（公開出願番号）：特開平8-138891
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】ヒータ及びヒータ用AC電流供給配線に高周波が流れ難い構造を有する下部電極を提供する。【構成】 AC電流供給配線内の導体は、ヒータとの接続点から外部のAC電源との接続点までの途中に、少なくとも一巻のコイル状捲回部分を有する。

請求項（抜粋）：

反応炉を有し、該反応炉内に高周波電源に接続された上部電極を有し、該反応炉内でプラズマにより成膜処理を行う気相反応装置において前記上部電極と対峙して配設される下部電極であり、該下部電極は少なくともサセプタと該サセプタ下面側に配設されたヒータユニットとを有し、該ヒータユニット内のヒータはAC電流供給配線により反応炉外のAC電源に接続されている、ことからなる下部電極において、前記AC電流供給配線内の導体は、ヒータとの接続点から外部のAC電源との接続点までの途中に、少なくとも一巻のコイル状捲回部分を有することを特徴とする下部電極。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-129373
特開昭63-042380
気相反応装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-300287 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社

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