透明基板の検査方法およびその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：樺澤襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-325398
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181468
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】透明基板の汚れを簡単に検査できる透明基板の検査装置を提供する。【構成】蒸気発生装置5の受皿6内に水を収容し、ヒータ7を発熱させて蒸気を発生させる。湿度センサ16により筐体1内の湿度が一定になるように蒸気の発生量を制御する。蒸気発生装置5で発生した蒸気は、メッシュ11にて蒸気の流れを均一化し、ブロア8の吹出孔9からの吹き出しにより瞬時に上方に蒸気を吹き出す。検査用開口2の上方に被検査用の液晶用ガラス基板19を載置し、照明装置13のランプ12を点灯させ、照射開口14の透明板15を介して液晶用ガラス基板19の下面を照明する。液晶用ガラス基板19の蒸気によるくもりをカメラ17で撮影し、液晶用ガラス基板19の汚れの有無を検査する。液晶用ガラス基板19に生じた濃い、薄い、縞模様などくもり具合などにより、汚れの種類、発生原因を探求する。

請求項（抜粋）：

透明基板に蒸気を均一に瞬時に吹き付けてくもらせ、このくもらせられた透明基板を撮影し、前記透明基板の汚れを検査することを特徴とする透明基板の検査方法。

IPC (3件)：

G02F 1/1333 500 , G01M 11/00 , G02F 1/13 101

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-258762
特開平1-212338
特開昭63-246795

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