特許
J-GLOBAL ID:200903029476810152

接合シート

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 宮▲崎▼主税 ,  目次 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-338668
公開番号(公開出願番号):特開2007-149748
出願日: 2005年11月24日
公開日(公表日): 2007年06月14日
要約:
【課題】接合シートが低温保管された場合に、ダイアタッチフィルムの表面に傷や窪みが形成され難い接合シートを提供する。【解決手段】基材シート2と、基材シート2の片面の一部に貼付された硬化性樹脂組成物からなるダイアタッチフィルム3と、ダイアタッチフィルム3を被覆するように、かつダイアタッチフィルム3の外周縁より外側の領域において前記基材シート2に貼付されたダイシングフィルム5とを備え、ダイシングフィルム5が室温よりも低い低温条件下に保管された際のダイシングフィルム5の収縮量をX、ダイシングフィルム5の基材シート2に対する剥離力をYとしたときに、収縮量Xと剥離力Yとが下記式(1)の関係にある、接合シート1。 Y≧9.4X 式(1)【選択図】図2
請求項(抜粋):
ダイアタッチフィルム及びダイシングフィルムが基材シートに支持されている接合シートであって、 基材シートと、前記基材シートの片面の一部に貼付された硬化性樹脂組成物からなるダイアタッチフィルムと、前記ダイアタッチフィルムを被覆するように、かつ前記ダイアタッチフィルムの外周縁より外側の領域において前記基材シートに貼付されたダイシングフィルムとを備え、 前記ダイシングフィルムが室温よりも低い低温条件下に保管されたときの前記ダイシングフィルムの収縮量をX、前記ダイシングフィルムと前記基材シートとの剥離力をYとしたときに、収縮量Xと剥離力Yとが下記式(1)の関係にあることを特徴とする、接合シート。 Y≧9.4X ・・・式(1)
IPC (1件):
H01L 21/301
FI (1件):
H01L21/78 M
引用特許:
出願人引用 (2件)

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