枚葉式ウエーハ熱処理装置とその装置に用いる反応容器の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321406
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162423
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】本発明は枚葉式ウエーハ熱処理用反応容器においてウエーハの交換等の作業性の向上と操作の容易化を図った。【構成】本発明は、反応容器外に発熱体を配したヒータ外設型若しくは反応容器内に発熱体を配したヒータ内設型のいずれの枚葉式ウエーハ熱処理装置においても適用されるもので、その特徴とするところは、前記反応容器の少なくとも被加熱領域に溶接加工部が存在しない実質的に一体物の石英ガラス体で形成するとともに、該被加熱領域のほぼ全域に気泡を含有させることにより、非透明(半透明及び不透明)な石英ガラス部位を形成したことにある。そして、前記反応容器は、一般には略半球状、略ドーム状、若しくは略円筒体状であり、前記容器はフランジ部を除く全体が一体ものである事が好ましい。

請求項（抜粋）：

反応容器外若しくは反応容器内に発熱体を配し、該発熱体よりの熱を利用して容器内の所定位置に配設したウエーハを加熱処理可能に構成した枚葉式ウエーハ熱処理装置において、前記反応容器が、該容器の少なくとも被加熱領域に溶接加工部が存在しない実質的に一体物の石英ガラス体で形成するとともに、該被加熱領域のほぼ全域に気泡を含有させて、非透明(半透明及び不透明)な石英ガラス部位を形成した事を特徴とする枚葉式ウエーハ熱処理装置

IPC (4件)：

H01L 21/22 511 , C03C 3/06 , C03C 11/00 , H01L 21/31

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平4-202022
特開昭56-023741
特開昭58-148427

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