光作動微小機械光子スイッチを備える物品

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡部正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-255876
公開番号（公開出願番号）：特開平11-154447
出願日： 1998年09月10日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】光作動光子スイッチを備える物品が開示される。【解決手段】前記光作動光子スイッチには、非常に低い電圧要求を有する微小電子機械システム(MEMS)スイッチに電力を供給するフォトゼネレータが含まれるので有利である。MEMSスイッチは2つの導波管の間を伝えられる光信号の経路を出入りするよう反射器を移動させるよう作動する。MEMSスイッチは低い電圧要求を有するので、比較的低い電圧を発生する長波フォトゼネレータが使用できる。長波長光は光ファイバでの減衰が比較的少ないので、前記光作動光子スイッチを組み込んだ能動光波回路は遠隔ノードへの非常に大きな長さのファイバを有することができる。

請求項（抜粋）：

光作動光子スイッチを備える物品であって、該スイッチが、光ビームによって照射されるとき、電圧を発生するフォトゼネレータと、スイッチ機能を提供するよう動作可能な第1微小電子機械システム(MEMS)装置とを備え、該MEMS装置が、前記フォトゼネレータに電気的に接続され、固定電極と間隔を開けて重ね合わされた関係に配置された可動プレートを含むアクチュエータであって、該アクチュエータが前記フォトゼネレータによって発生した前記電圧を前記可動プレートと前記固定電極に適用することによって作動するアクチュエータと、照射する光信号の特性に影響を与えるよう作動する反射器と、前記アクチュエータを前記反射器に機械的に接続する連結機構とを含むMEMS装置とを含み、前記アクチュエータが作動するとき、前記反射器が移動して前記光作動光子スイッチの状態を変更する物品。

IPC (3件)：

H01H 35/00 , G02B 26/08 , H04B 10/02

FI (3件)：

H01H 35/00 R , G02B 26/08 A , H04B 9/00 T

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-328510
特開平4-328510
偏向可能デバイスおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-106876 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

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