板状体の搬送装置および搬送方法、ならびに処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高山宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-081002
公開番号（公開出願番号）：特開2001-274221
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【目的】高いスループットが得られる板状体の搬送装置および処理方法、ならびに処理装置を提供すること。【構成】板状体Wに所定の処理を行うための第1の処理装置S1と第2の処理装置との間で、板状体Wを搬送する板状体の搬送装置S2において、第1の処理装置S1と第2の処理装置との間で、板状体Wを双方向に搬送可能な少なくとも1つの搬送機構42と、第1の処理装置S1と搬送機構42との間で板状体Wを受け渡しする際に板状体を一時待機させる少なくとも2つの待機部41A,41Bとを具備し、少なくとも2つの待機部41A,41Bのうち一方41Aは、第2の処理装置において許容される温度に調節可能である。

請求項（抜粋）：

板状体に所定の処理を行うための第1の処理装置と第2の処理装置との間で、板状体を搬送する板状体の搬送装置において、前記第1の処理装置と前記第2の処理装置との間で、板状体を双方向に搬送可能な少なくとも1つの搬送機構と、前記第1の処理装置と前記搬送機構との間で板状体を受け渡しする際に板状体を一時待機させる少なくとも2つの待機部とを具備し、前記少なくとも2つの待機部のうち一方は、前記第2の処理装置において許容される温度に調節可能であることを特徴とする板状体の搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , G03F 7/40 , H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 A , G03F 7/40 , H01L 21/30 562

引用特許：

審査官引用 (6件)

板状体の処理装置及び搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-108769 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
特開平4-271139
特開平3-273606

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