特許
J-GLOBAL ID：200903029541868341

剥離テープ貼付方法および剥離テープ貼付装置

発明者：
雨谷 稔

雨谷 稔 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (4件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  廣瀬 繁樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-293779
公開番号（公開出願番号）：特開2007-180503
出願日： 2006年10月30日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：
【課題】剥離テープ貼付時にウェーハに割れなどが生じるのを防止する。【解決手段】ウェーハ(20)の表面に貼付けられた表面保護フィルム(11)に剥離テープ(4)を貼付ける剥離テープ貼付方法において、表面保護フィルムを上方に向けてウェーハを可動テーブル(31)上に支持し、ウェーハの表面保護フィルム上に剥離テープを繰出す。次いで、ウェーハの一端(28)が剥離テープ貼付手段(46)の下方に位置するように可動テーブルを移動させ、剥離テープを介して剥離テープ貼付手段をウェーハの表面保護フィルムに押付けて押付力を掛ける。その後、可動テーブルをウェーハの他端(29)に向かって移動させ、可動テーブルが剥離テープ貼付手段から所定距離だけ移動すると押付力を解除する。さらにこのような方法を実施する剥離テープ貼付装置が提供される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ウェーハの表面に貼付けられた表面保護フィルムに剥離テープを貼付ける剥離テープ貼付装置において、 前記表面保護フィルムを上方に向けて前記ウェーハを支持すると共に水平方向に移動可能な可動テーブルと、 該可動テーブルに支持された前記ウェーハの前記表面保護フィルム上に前記剥離テープを繰出す繰出手段と、 該繰出手段により繰出された前記剥離テープを前記ウェーハの前記表面保護フィルム上に貼付ける剥離テープ貼付手段と、 前記剥離テープを介して前記剥離テープ貼付手段を前記ウェーハの前記表面保護フィルムに押付けて押付力を掛ける押付手段と、を具備し、 前記押付手段は、前記可動テーブルにより前記ウェーハの一端が前記剥離テープ貼付手段の下方に位置しているときに前記剥離テープを介して前記剥離テープ貼付手段を前記表面保護フィルムに押付けて押付力を掛け、前記可動テーブルが前記ウェーハの他端に向かって前記前記剥離テープ貼付手段から所定距離だけ移動すると前記押付力を解除するようにした剥離テープ貼付装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (8件)：
5F031CA02 ,  5F031HA57 ,  5F031JA01 ,  5F031JA22 ,  5F031LA15 ,  5F031MA34 ,  5F031MA37 ,  5F031PA30
引用特許：
審査官引用 (3件)

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