特許
J-GLOBAL ID：200903094440877761

吸着装置

発明者：
小林 賢治

小林 賢治 について

, 
辻本 正樹

辻本 正樹 について

, 
吉岡 孝久

吉岡 孝久 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-128214
公開番号（公開出願番号）：特開2005-311176
出願日： 2004年04月23日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】 装置の簡略化を図ることができ、ウエハ等の板状部材に貼付された保護テープの剥離不良をなくすことのできる吸着装置を提供すること。【解決手段】 ウエハWは、裏面側からダイシングテープTを介してリングフレームRに支持されているとともに、表面側に保護テープHが貼付されている。吸着装置12は、吸着面15を上面に備えたテーブル16を備えている。吸着面15は、所定の吸着を行うことによりダイシングテープTを吸着してウエハWを保持する。吸着面15の外周に沿う少なくとも一部領域には、溝24が形成され、吸着面15により吸気を行うことにより、溝24内が負圧となってダイシングシテープTを陥没させる。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
板状部材の一方の面に貼付され、当該板状部材の外周からはみ出る平面形状を備えた粘着シートを吸着することで板状部材を保持する吸着装置において、 所定の吸気を行うことにより前記粘着シートを吸着する吸着面を備えたテーブルを含み、 前記板状部材の外周に沿う少なくとも一部領域に溝が形成されていることを特徴とする吸着装置。
IPC (2件)：
H01L21/304 ,  H01L21/68
FI (3件)：
H01L21/304 622J ,  H01L21/304 622P ,  H01L21/68 P
Fターム (5件)：
5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031DA15 ,  5F031HA14 ,  5F031MA38
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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