位置検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-136783
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327318
出願日： 1995年06月02日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】凹凸変化(段差)が極めて小さい位置検出マークであっても精度良く確実にその位置を検出可能とする。【構成】基板上の位置検出マークを照明する照明光学系の瞳面での照明光を、光軸を中心とする輪帯領域に制限するとともに、位置検出マークから発生する光を入射してその像を撮像素子上に形成する結像光学系の瞳面上の、照明光学系の瞳面上の輪帯領域と結像関係になる領域とそれ以外の領域とにそれぞれ分布する結像光束の位相をほぼπ/2[rad] だけ異ならせる。さらに、画像信号の形成に寄与する照明光の波長域中の最短波長をλ1、最長波長をλ2、位置検出マークの周期をPとすると、照明光学系の瞳面上の輪帯領域の外半径ro、及び内半径riを、ri≧λ2/(2×P)、ro-ri≦λ1/Pなる関係を満たすように定める。

請求項（抜粋）：

所定の波長域の照明光で基板上の位置検出マークを照射する照明光学系と、該位置検出マークから発生する光を入射して撮像素子上に該位置検出マークの像を形成する結像光学系とを備え、前記撮像素子から出力される画像信号に基づいて前記位置検出マークの位置を検出する装置において、前記位置検出マークに対して実質的に光学的フーリエ変換の関係となる前記照明光学系中の第1面での照明光束を、前記照明光学系の光軸を中心とするほぼ輪帯状の第1領域内に制限する光束制限部材と;前記位置検出マークに対して実質的に光学的フーリエ変換の関係となる前記結像光学系中の第2面上の、前記第1領域と結像関係となるほぼ輪帯状の第2領域とそれ以外の領域とにそれぞれ分布する結像光束の位相を異ならせる位相差部材とを備えたことを特徴とする位置検出装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 , G03F 9/00 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (7件)：

G01B 11/00 C , G03F 9/00 H , H01L 21/68 F , H01L 21/30 507 L , H01L 21/30 525 R , H01L 21/30 525 P , H01L 21/30 525 B

引用特許：

出願人引用 (4件)

投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-178907 出願人：株式会社ニコン
特開昭62-038303
特開昭53-121472

全件表示

前のページに戻る