特許
J-GLOBAL ID：200903029568965772

半導体装置およびその作製方法

発明者：
江口 晋吾

江口 晋吾 について

, 
山崎 舜平

山崎 舜平 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-235613
公開番号（公開出願番号）：特開2001-060067
出願日： 1999年08月23日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：
【要約】【課題】 TFTを用いて作製されるアクティブマトリクス型の反射型液晶表示装置において、入射光が効率よく反射及び乱反射する反射電極を安定かつ平易なプロセスを用いて形成することを課題とする。【解決手段】微粒子または有機物の小片147bを含む有機樹脂膜148aを層間絶縁膜として設け、その上に反射電極を作製することによって、凹凸を表面に有する反射電極を得る。
請求項（抜粋）：
微粒子または有機物の小片を含有する有機樹脂材料から形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された反射電極とを備えたことを特徴とする半導体装置。
IPC (6件)：
G09F 9/30 338 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/312 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (7件)：
G09F 9/30 338 ,  G02F 1/1333 505 ,  H01L 21/312 A ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 D ,  H01L 29/78 613 A ,  H01L 29/78 619 A
Fターム (144件)：
2H090HA04 ,  2H090HB03X ,  2H090HB08X ,  2H090HC05 ,  2H090HC12 ,  2H090HD02 ,  2H090HD05 ,  2H090LA01 ,  2H090LA04 ,  2H090LA20 ,  2H092GA48 ,  2H092GA50 ,  2H092GA59 ,  2H092HA25 ,  2H092HA28 ,  2H092JA24 ,  2H092JA39 ,  2H092JA40 ,  2H092JB07 ,  2H092JB51 ,  2H092JB57 ,  2H092JB69 ,  2H092KA05 ,  2H092KA10 ,  2H092KA18 ,  2H092KA19 ,  2H092KB25 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA10 ,  2H092MA19 ,  2H092MA27 ,  2H092MA29 ,  2H092MA30 ,  2H092MA37 ,  2H092NA03 ,  2H092PA01 ,  2H092PA06 ,  2H092PA09 ,  2H092PA12 ,  2H092RA05 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094AA60 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA09 ,  5C094EB02 ,  5C094ED02 ,  5F058AF06 ,  5F058AH02 ,  5F058BA05 ,  5F058BB06 ,  5F058BB07 ,  5F058BC02 ,  5F058BC11 ,  5F058BD04 ,  5F058BD15 ,  5F058BF07 ,  5F058BF23 ,  5F058BF25 ,  5F058BF30 ,  5F058BF31 ,  5F058BH02 ,  5F058BH07 ,  5F058BH12 ,  5F058BJ01 ,  5F110AA03 ,  5F110AA08 ,  5F110AA13 ,  5F110AA16 ,  5F110AA19 ,  5F110BB01 ,  5F110BB04 ,  5F110BB05 ,  5F110BB10 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD07 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD24 ,  5F110DD25 ,  5F110EE01 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE06 ,  5F110EE11 ,  5F110EE15 ,  5F110EE28 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF10 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG28 ,  5F110GG32 ,  5F110GG34 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG51 ,  5F110GG52 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL12 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110HM05 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN72 ,  5F110NN80 ,  5F110PP01 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP05 ,  5F110PP10 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ24 ,  5F110QQ25
引用特許：
審査官引用 (9件)
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