特許

J-GLOBAL ID：200903029635470120

光学装置

発明者： 後藤 博史
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-300488
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123845
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 光学装置の走査角を正確に求めることができるようにし、小型でしかも高精度の光学装置を供給可能にする。【構成】 光スキャナAの弾性変形部3に、圧電薄膜8aを形成する。圧電素子2に共振周波数にて駆動電圧を印加すると、可動片4は共振振動し、圧電薄膜8aは共振振動に応じた電圧信号を発生する。この電圧信号を検出することにより、可動片4の走査角すなわち光スキャナAの走査位置を求める

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの弾性変形モードを有する弾性変形部と、前記弾性変形部の一端に設けられ前記弾性変形部の弾性変形モードに応じて可動する可動片と、前記弾性変形部の他端に設けられ前記弾性変形部に振動を伝える振動入力部と、前記振動入力部に前記弾性変形モードに対する共振振動を印加する駆動源と、光源とを備え、前記可動片を共振振動させると共に光源からの光ビームを前記可動片で反射させることにより光ビームを走査する光学装置において、前記可動片の可動状態を検知するセンサを備えたことを特徴とする光学装置。

IPC (2件)：

G02B 26/10 101 ,  H04N 1/04 104

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-257821
  
• 特開平1-316718
  
• 特開平4-140707