特許
J-GLOBAL ID：200903029666343658
窒化アルミニウム成形体の焼成方法と焼成用治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-172427
公開番号（公開出願番号）：特開2008-001558
出願日： 2006年06月22日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：
【課題】焼成炉内の雰囲気が窒化アルミニウム成形体に接触しないように遮断することが可能な窒化アルミニウムの焼成方法とその焼成用治具を提供する。【解決手段】焼成用治具1aはベース3aとこのベース3aの上部を覆う蓋部3bとからなり、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素のいずれかを主成分とする坩堝3と、底板5と枠体6とからなり、窒化ホウ素及び窒化アルミニウムなどの窒化物セラミックス又はモリブデン及びタングステンなどの高融点金属のいずれかを主成分とするセッター4とから構成され、枠体6は枠板片6a〜6cとから構成される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
上面略中央部に窒化アルミニウム成形体が載置される略平板状の底板と、略短冊状の複数の枠板片から構成され前記底板の上面に前記窒化アルミニウム成形体を囲むように設置される枠板とからなるセッターを備え、このセッターは高融点金属又は窒化物セラミックスを主成分とし、前記枠板片の少なくとも1つに他の枠板片の端部を嵌合可能に凹部が形成されることを特徴とする窒化アルミニウム成形体の焼成用治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B35/64 J
, C04B35/58 104U
4G001BA07
, 4G001BA09
, 4G001BA36
, 4G001BB07
, 4G001BB09
, 4G001BB36
, 4G001BC17
, 4G001BC22
, 4G001BC52
, 4G001BC54
, 4G001BC57
, 4G001BC62
, 4G001BD03
, 4G001BD11
, 4G001BE33
, 4K018DA38
