特許

J-GLOBAL ID：200903029729585347

放射線硬化性粘着テープ

発明者： 青垣 智幸 ,  石渡 伸一 ,  上山 倫生
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-159393
公開番号（公開出願番号）：特開平9-008109
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【構成】 粘着剤と炭素-炭素二重結合を有する化合物を主として含有する粘着性組成物を基材上に形成してなる放射線硬化性粘着テープであって、前記粘着性組成物が、アクリル樹脂重合体の球状粒子を含有していることを特徴とする放射線硬化性粘着テープ。【効果】 放射線照射により十分に粘着力が低下するために、糊残り等の発生もなく良好に被着物を剥離することができる。また、半導体ウエハのダイシング時にウエハ固定用として使用すれば、100mm2を越える大きな素子でも、放射線照射後に粘着テープを伸展することなく容易にピックアップすることができる。

請求項（抜粋）：

粘着剤と炭素-炭素二重結合を有する化合物を主として含有する粘着性組成物を基材上に形成してなる放射線硬化性粘着テープであって、前記粘着性組成物が、アクリル樹脂重合体の球状粒子を含有していることを特徴とする放射線硬化性粘着テープ。

IPC (10件)：

H01L 21/68 ,  B28D 7/04 ,  C09J 7/02 JJU ,  C09J 7/02 JKE ,  C09J 7/02 JKF ,  C09J 7/02 JKK ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/301 ,  C09J 4/00 JBH ,  C09J133/00 JDB

FI (10件)：

H01L 21/68 N ,  B28D 7/04 ,  C09J 7/02 JJU ,  C09J 7/02 JKE ,  C09J 7/02 JKF ,  C09J 7/02 JKK ,  C09J 7/02 JLE ,  C09J 4/00 JBH ,  C09J133/00 JDB ,  H01L 21/78 M

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ウェハ貼着用粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-184703   出願人：リンテック株式会社