特許
J-GLOBAL ID：200903029740782731

2次元光ヘテロダイン走査検出システム

発明者：
佐藤 学

佐藤 学 について

, 
丹野 直弘

丹野 直弘 について


出願人/特許権者：
科学技術振興事業団

科学技術振興事業団 について


代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-084638
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272334
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：
【要約】【課題】 直接スイッチングタイプの2次元イメージセンサにより、スイッチング素子を各光検出素子に直接高速に接続して、入射光量に応じた各電荷を直接読み取り、ビデオレートの画像測定を可能にする2次元光ヘテロダイン走査検出システムを提供する。【解決手段】 2次元光ヘテロダイン走査検出システムにおいて、半導体基板11上に作製されるアレイ状フォトダイオード12の画素配列と、この画素配列の信号電荷を順次読み出すMOSトランジスタ13,16を画素配列した2次元のアレイ状光検出器1と、この2次元光検出器1を高速に走査する走査部2と、前記2次元光検出器1からの出力信号を処理する検波回路3とを備え、光周波数がfだけ異なる2次元の光波が前記2次元光検出器1に入射すると、周波数fを有する2次元光強度分布がアレイ面に生じ、これより、出力端子に各画素での交流信号の大きさを時系列で出力する。
請求項（抜粋）：
2次元光ヘテロダイン走査検出システムにおいて、(a)半導体基板上に作製されるアレイ状光検出素子の画素配列と、該画素配列の信号電荷を順次読み出すスイッチング素子を画素配列した2次元光検出器と、(b)該2次元光検出器を高速に走査する走査部と、(c)前記2次元光検出器からの出力信号を処理する検波回路とを備え、(d)光周波数がfだけ異なる2次元の光波が前記2次元光検出器に入射すると、周波数fを有する2次元光強度分布がアレイ面に生じ、これより、出力端子に各画素での交流信号の大きさを時系列で出力することを特徴とする2次元光ヘテロダイン走査検出システム。
IPC (3件)：
G01N 21/17 630 ,  G01B 11/24 ,  H04N 5/335
FI (4件)：
G01N 21/17 630 ,  H04N 5/335 E ,  G01B 11/24 D ,  G01B 11/24 K
Fターム (38件)：
2F065AA51 ,  2F065CC16 ,  2F065DD06 ,  2F065FF52 ,  2F065GG00 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL22 ,  2F065LL28 ,  2F065LL46 ,  2F065MM22 ,  2F065NN08 ,  2G059AA05 ,  2G059AA06 ,  2G059BB12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04 ,  2G059MM20 ,  5C024EX41 ,  5C024EX42 ,  5C024EX51 ,  5C024GX03 ,  5C024GY31 ,  5C024JX03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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